1．技术参数

l 曝光面积：150mmX150mm

l 曝光波长：365nm

l 分辨力：0.8-1um（胶厚2 um的正胶）

l 对准精度：±0. 6um

l 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

l 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

l 样片尺寸：直径f15mm-- f150mm（各种不规则片）

               厚度0.1mm--5mm(可拓展至15mm)

l 曝光方式：定时（倒计时方式），0.1s-9999s

l 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

l 照明不均匀性： 2.5%（f100mm 范围） 5%（f150mm范围）

l 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

l 调平接触压力通过传感器保证重复

l 数字设定对准间隙和曝光间隙

l 具备压印模块接口，也具备接近模块接口

l 掩模相对于样片运动行程：

     X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l 最大胶厚：500mm(SU8胶)

l 光源平行性：2°

l 曝光能量密度：>18mW/cm2

l 冷却方式：循环水+风冷

l 曝光面温度：<30°C

l 汞灯功率：1000W（直流，进口

2．外形尺寸：1400mm（长）´1200mm(宽) ´1950mm（高）

3．配置

（1）曝光头

l 冷光椭球镜

l 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)

l XYZ汞灯调节台

l 冷却风扇

l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（109个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

l 循环水冷系统

（2）对准工件台

l 掩模样片整体运动台

l 掩模样片相对运动台

l 转动台

l 样片调平机构,自动完成

l 样片调焦机构，自动调

l 承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

l 掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

l 基片抽拉式上下片机构

（3）对准显微镜

l 光源（配备品2只）、电源

l 双目双视场对准显微镜主体

l 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

l 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

（4）CCD对准系统(选配)

l 光源（配备品3只）、电源

l 成像光学系统（两套）

l 数据采集卡                                     

l 三维工件台（两套）

l CCD（2只）

（5）电控系统

l 汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

l 单片机控制系统

l 控制柜桌 

l 计算机系统及液晶显示器

（6）气动系统

l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l 电磁阀驱动

l 气动仪表 

（7）其他附件

l 真空泵一台（无油泵）

l 空压机一台（静音泵）

l 管道

（8）技术资料

l 使用维修说明书

l 显微镜使用说明书