ALI/20掩膜对准仪设备参数介绍
图1 ALI/20掩膜对准仪整装实物图
1. 功能简介
ALI/20 掩膜对准仪主要用于对 PDMS、PMMA、硅、玻璃等材质之间的相互对准。设备采用先进的机械移动平台，样片可在 XYZ 三维以及水平旋转四个方向进行位置调节，采用高分辨率显微放大CCD，可同时双视野观察，最大程度满足客户对结构对准精度的需求。工作台所有部件采用铝制材料及高精度机械设备加工而成，最大程度降低了产品自身的误差，是解决多种微结构对准贴合的好帮手。尤其适用于上下层均带有结构的PDMS和玻璃微流控芯片对准。
2. 参数介绍（以下是标准款的参数，可根据客户需求调整）
(1) 适应对准的样品材质： PDMS、PMMA、硅、玻璃等。
(2) 对准精度：±5um
(3) 最大对准间隙：≤0.5mm
(4) 对准间隙设定精度：10um
(5) 适应对准的样品尺寸：10mm×10mm ~ 75mm×75mm
(6) 适应样品最大厚度：15mm
(7) 对准调节行程：X：±8mm Y：±8mm Z：20mm Θ：±5°
(8) 对准灵敏度：X：0.1um Y：0.1um Z：1um Θ：0.005°
(9) 对准采用双视场对准显微镜：通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学+电子放大
(10) 对准吸盘可拓展，用于不同尺寸的样品，标准样品可快速对准；吸盘载物台非常规形状可定制不同尺寸。
(11) 显微镜2个，工作距离30mm，视野范围3mm，放大倍数50倍（光学放大+电子放大），2个显微镜的最小圆心距离10mm
(12) CCD：索尼ES50（参数详见附件）；CCD调节行程：X：±8mm Y：±8mm Z：8mm；CCD调节调节灵敏度：0.1mm
(13) 上载物台观察窗尺寸：20mm×11.5mm（两个）；上载物台吸片区域尺寸：20mm×11.5mm，如下图：
图2 掩膜对准仪上载物台吸片区域尺寸
(14) 下载物台尺寸：20mm×35mm；下载物台的最大升起高度：10mm；下载物台吸片区域尺寸：20mm×10mm，如下图：
图3 掩膜对准仪下载物台吸片区域尺寸
(15) 上下载玻片的平行度：≤0.1
(16) 找平方式：手动找平
3. 主要部件
图4 ALI/20 掩膜对准仪主要组件
图5 ALI/20 掩膜对准仪载片台
掩膜对准仪的主要组件，如图4和图5所示：
显示器（可同时显示左、右CCD界面）、CCD+显微镜（左、右各一套）、显微镜调节旋钮（左、右各一套）、对准工作台（可 XYZΘ 调节）、载片台（上、下各一个，均带真空吸附功能）、显微镜光强调节器（未示出）、真空泵（未示出）、电源线等。
4. 设备所需能源
(1) 电源：220V/50HZ
(2) 功耗：≤1KW
(3) 真空：-0.06~-0.08MPa
5. 设备安装环境
(1) 建议室温保持在25℃±2℃（77℉±3.6℉）
(2) 相对湿度不超过60%
(3) 无振动，因为对准仪要求较高的对准精度，故要求机器安装在无振动的地方，保持振幅不超过4um。
(4) 环境洁净度等级很重要，特别是对准线条很细的产品，建议操作间洁净度达到100级。
6. 载物台更换方法
下载物台更换方法：拧下红圈内的三颗螺钉换上所需的载物台后拧上螺钉即可。
图6
上载物台更换方法：拧下红圈内的四颗螺钉，取下载物台之后按住右图内红圈快接气嘴拔下气管，换到所需的载物台后将载物台装到所对应的位置拧紧螺钉即可。
图7
7. 曝光掩膜对准功能（选配）
本设备除用于 PDMS、PMMA、硅、玻璃等材质之间的相互对准，还可加装掩膜对准功能，其对准效果与光刻机设备自带的掩膜版和晶圆对准部件类似。加装后，该设备配有2套上、下载物台，可自行更换。其加装的掩膜对准功能，可用于精确和可重复性的掩膜版和晶圆对准，操作完成后，晶圆和掩膜版可以不破坏的分离，并且掩膜版可以重复使用。如图8所示，是真空吸附掩膜版的上载物台示意图，图9是下载片台，同样可以真空吸附晶圆并固定。加装功能可根据客户参数要求调整，详情请咨询公司销售人员。
图8 真空吸附掩膜版的上载物台示意图
图9 真空吸附晶圆的下载物台
附件：
CCD型号：索尼XC-ES50
1/2寸隔行扫描，38万像素，570线，EIA格式，黑白，小型高速工业相机
采用1/2/寸HAD技术高灵敏度CCD
768X494像素（EIA格式）
高灵敏度0.2Lx(F1.4)
场/帧曝光
所用控制部分都在机身外部，便于控制
高信噪比：60dB
简单灵活的触发功能
新型的EIAJ 12PIN引线分配，可以接收触发脉冲
小巧，紧凑机身- 29 (W) x 29 (H) x 32 (D)mm/50g
优异的防震动，防抖动性能(10G-70G)
小巧的电源(DC-700/DC-700CE)
