1. 产品简介：

Harrick Plasma是国际一流的等离子清洗器生产商，在业内已经有三十多年的经验。他所生产的小型等离子清洗器结构紧凑、质量可靠、价格合理；广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料，并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。

2. 主要特征：
1）台式设计，结构紧凑精致
2）低、中、高三档可调节功率，最大可为30W
3）设备辐射小，安全环保

3. 基本参数：

1）外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）

2）重量：20.0kg

3）输入电源：220 V / 50Hz

4） 输入功率：200 W

5）功率档：
        低档716V DC、10mA DC、7.16W
        中档720V DC、15mA DC、10.15W
        高档740V DC、40mA DC、29.6W

6）常用工作气体：
        空气、氩气、氮气或混合气体等

7）基本配置：
        直径6英寸，长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
        可拆卸舱盖。
        含磁力锁和可视窗的铰链舱盖。
        最大为30W的RF线圈。
        1/8英寸NPT针阀
        1/8英寸NPT三通阀

8） 选配件：
        石英等离子清洗舱
        石英托盘（用于放置样品）
        气体计量混合器Plasma FloTM

9）周边设备：
        基本型专用真空泵（PDC-VPE-2）

4. 可选件：

4.1. 选件一：气体计量混合器PlasmaFloTM

功能及配置简介：
1）Harrick  PlasmaFloTM气体计量混合器是一台可任选的以满足客户的不同需求的备件。主要应用于样品的表面改性。
2）在等离子清洗过程中气体流混合和压力监视。
3）为向舱内注入两种气体提供了可能。
4）含两个标准的气体流量计(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5）温差电偶真空度表测量舱内压力
6）适用气体：空气、氮气、氩气或混合气体。
7）尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8）订货号：PDC-FMG-2  

4.2. 选件二：真空泵
Harrick等离子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，压力为200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。
 PDC-VP-2 (220V) 
  1） 抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
  2） 极限压力(气镇关)：1.5 mTorr
  3）极限压力(气镇开)：23 mTorr
  4） 电机功率：(50/60 Hz): 250/300 W
  5）重量: 34 lbs
  6）尺寸: 9"H x 15"W x 5"D

4.3. 选件三：石英等离子清洗舱及托盘