1、无油涡旋真空泵简介：

由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油问题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20～40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜质量。

为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子；系统运行过程当中还需要定期清洗除油；有的需要定期更换真空泵油。采用无油涡旋真空泵，第一不需要加冷阱之类的捕油机构、第二不需要更换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用范围的限制。这些优点使无油涡旋真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。

无油涡旋真空泵主要部件为涡旋盘、曲轴和密封垫，该泵的抽气——压缩——排气机理是在动、静涡旋盘相互不接触的情况下，依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔，将被抽气体排出，连续完成吸气、压缩和排气过程。在充分考虑抽气过程中发生热交换的情况下，尽量减少动、静涡盘间的径向和轴向间隙，可以提高抽速和极限真空度。GWSP系列无油涡旋真空泵充分考虑了以上细节，真正实现全无油，不返油，不喷油。

1、无油涡旋真空泵的优点：

1）抽速范围广，从1L/s到16.6L/s

2）极限真空度达到1Pa

3）适用全球电源，110/220/380/460V、50/60Hz

4）全无油，不返油，不喷油

5）能在大气压和真空之间频繁启动与关闭

6）低振动、低噪音、低能耗

7）体积小、重量轻

2、无油涡旋真空泵的主要用途：

1）分析测试仪器/能谱仪/扫描电镜

2）真空镀膜（PVD/CVD/LPD等）

3）LED/LCD/激光管抽真空与封装

4）电子束焊接/激光焊接

5）真空炉/单晶炉/烘箱

6）手套箱/排气台

7）预处理室/样品传输室抽真空

8）He质谱检漏

9）稀有/特殊气体回收/再循环

10）空间环境模拟

11）同步辐射光束线

12）分子泵前级

13）冷凝泵再生

3、无油涡旋真空泵的使用注意事项：

1）GWSP系列无油涡旋真空泵用于干燥、洁净的气体抽真空。不能用于对人体有害、易燃易爆、腐蚀性气体或者含有化学品、溶剂以及能生成粉末的物质。

2）进气温度不能超过50℃，如果超过该温度，必须在进气管路上安装冷却装置，使进气温度低于50℃。

4、无油涡旋真空泵的外形尺寸：

1、无油涡旋真空泵的规格参数：