中芯启恒PDMS芯片图纸设计规范

1. PDMS微流控芯片简介：

PDMS芯片通过软光刻工艺加工，具有高透明、弹性、透气、化学惰性及重复性强等特点，广泛用于纳米脂质体制备、液滴、细胞培养、药物筛选等实验。实物图如图1所示。

图1 PDMS芯片实物图

2. PDMS微流控芯片图纸要求：

1) 如图2所示，白色大圆直径100mm，红色圆直径90mm。PDMS芯片1版的版面积是直径100mm的圆（这是因为PDMS是用倒模工艺加工的，模具一般用SU-8光刻胶模具和纯硅刻蚀模具，这两种模具一般都是用4英寸的硅片加工，4英寸的硅片直径约100mm）。注意客户绘制结构的有效面积最大不能超过直径98mm，最好是在直径90mm圆内，图形排布尽量居中。

2) 芯片进出口离芯片边缘距离、芯片进出口间距需要在5mm以上，如果客户芯片尺寸太小，至少需要保证在3mm以上，但承压能力会减弱。

3) PDMS芯片可以选择跟玻璃键合，也可以跟PDMS片材键合。进出样孔既可以打在PDMS流道层，也可以打在空白层，建议客户把打孔要求备注在图纸上。

4) 如图2所示，1个版面上可以排布相同或不同形状的结构，但是要求这些结构的高度是一样的。若是客户不清楚如何排布，可以只画单个结构，启恒的工程师会将图纸排布好给客户确认。

5) PDMS芯片的模具可以加工成单层、双层和多层光刻模具。单层模具只需要提供如图2所示的二维图纸即可。双层、多层模具最好提供三维图纸，也可以提供二维图纸，二维图纸可以分层绘制，也可以叠加绘制，不同的高度通过填充不同的颜色来区分。

6) 建议在图纸右下角备注：结构最小线间距、结构高度、加工数量等要求。

图2

3.PDMS微流控芯片图纸设计软件：

推荐使用AutoCAD、Solidworks、ProE、L-edit等，最终图纸格式：三维格式.step/.igs/.x_t/.x-b；二维格式.dwg/.dxf等

3. PDMS成品芯片的进出样口有2种方式：插钢针连接导管进样、通过夹具进样。

1）插钢针连接导管

详细资料请查阅网址：http://cchip.cn/index.php?s=/Show/index/cid/61/id/213.html

图3

L型不锈钢接头常用的型号有如下两种，推荐选用配套的PDMS打孔器和导管，如表1所示。

表1

2）通过夹具进样

详细资料请查阅网址：http://cchip.cn/index.php?s=/Show/index/cid/62/id/174.html

图4